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近日，由南昌大學材料學院博士生劉冠鵬負責的“芯像視成”項目，在第七屆江西省“互聯網+”大學生創新創業大賽中獲得金獎。該項目依托南昌大學國家“雙一流”建設學科和南昌大學國家硅基LED工程技術研究中心，致力于MicroLED無掩膜光刻機技術研究與落地轉化，將助力我國半導體和無掩膜光刻相關技術的研究與產品開發。

光刻機作為微電子裝備的龍頭，是芯片IC和PCB電路板制備技術的核心設備。隨著電子技術的發展，電路板和芯片的需求越來越大，受益于下游需求旺盛，光刻設備有望量價齊升帶動市場空間不斷增長。就連PCB線路板制造用的中低端紫外光刻機也受制于人。此外PCB線路板制造、半導體生產及高精密細線路曝光等都需要大量的掩膜來進行特定圖形的曝光。掩模板制作復雜、周期長、費用昂貴，一旦完成無法修改，這些缺陷嚴重限制了電子行業的發展。無掩膜光刻設備成為PCB板、半導體行業發展的必然選擇。

該項目參照傳統光刻的原理，同時利用能實時投影出動畫的MicroLED微型顯示器芯片，提出采用MicroLED微型顯示器芯片投影的方式直接在基板上投影出想要光刻的電路圖案。為了降低掩膜制作和光刻加工的成本，項目開發和制造了基于MicroLED微顯示芯片的無掩膜紫外光刻機。它具備四個特點，即無掩，無需掩膜版，通過投影的方式直接成像進行光刻；高光，可以減少曝光時間；特供芯片獨家供應；微體，光源和圖像控制部分制作在一個IC上，無需外加光源，使得器件體積可減小70%。目前該項目研制的無掩膜光刻機已經能夠實現復雜PCB電路板的光刻。

該項目團隊利用自主研發和制備的自發光MicroLED芯片，在光刻設備技術原理上進行了創新，開發和制造了基于MicroLED數字光芯的無掩膜光刻機，成功實現復雜PCB電路板的無掩膜光刻。

原文鏈接：http://www.news.cn/tech/20210824/d98496a50fe84f8d83669bd4a7aa0492/c.html

編    輯：涂金鳳

責任編輯：許  航